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| ファイル | 記述 | サイズ | フォーマット | |
|---|---|---|---|---|
| D_Fujita_Shizuo.pdf | Dissertation_全文 | 3.2 MB | Adobe PDF | 見る/開く |
| ykogr02369.pdf | Abstract_要旨 | 200.05 kB | Adobe PDF | 見る/開く |
| タイトル: | CHEMICAL STRUCTURES AND ELECTRONIC PROPERTIES OF SILICON NITRIDE FILMS |
| その他のタイトル: | シリコン窒化膜の化学構造と電子物性に関する研究 |
| 著者: | Fujita, Shizuo |
| 著者名の別形: | 藤田, 靜雄 |
| 発行日: | 23-May-1990 |
| 出版者: | Kyoto University |
| 記述: | 本文データは国立国会図書館の学位論文(博士)のデジタル化事業により作成された画像ファイルを基にpdf変換したものである |
| 学位授与大学: | 京都大学 |
| 学位の種類: | 新制・論文博士 |
| 取得分野: | 工学博士 |
| 報告番号: | 乙第7243号 |
| 学位記番号: | 論工博第2369号 |
| 学位授与年月日: | 1990-05-23 |
| 請求記号: | 新制||工||811(附属図書館) |
| 論文調査委員: | (主査)教授 佐々木 昭夫, 教授 松波 弘之, 教授 藤田 茂夫 |
| 学位授与の要件: | 学位規則第5条第2項該当 |
| DOI: | 10.11501/11393707 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/274193 |
| 出現コレクション: | 090 博士(工学) |
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