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| ファイル | 記述 | サイズ | フォーマット | |
|---|---|---|---|---|
| dkogk05088.pdf | Dissertation_全文 | 4.74 MB | Adobe PDF | 見る/開く |
| ykogk05088.pdf | Abstract_要旨 | 320.09 kB | Adobe PDF | 見る/開く |
完全メタデータレコード
| DCフィールド | 値 | 言語 |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Kubota, Wataru | en |
| dc.contributor.alternative | 窪田, 航 | ja |
| dc.contributor.transcription | クボタ, ワタル | ja-Kana |
| dc.date.accessioned | 2023-06-22T06:15:41Z | - |
| dc.date.available | 2023-06-22T06:15:41Z | - |
| dc.date.issued | 2023-03-23 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/2433/283701 | - |
| dc.language.iso | eng | - |
| dc.publisher | Kyoto University | en |
| dc.publisher.alternative | 京都大学 | ja |
| dc.rights | 2019年5月発行 Japanese Journal of Applied Physics第58巻050924 1-4頁に掲載 Chemical etching of silicon assisted by graphene oxide DOI:10.7567/1347-4065/ab17f3 2021年7月発行 Langmuir第37巻9920-9926頁に掲載 Chemical Etching of Silicon Assisted by Graphene Oxide in an HF−HNO3 Solution and Its Catalytic Mechanism DOI:10.1021/acs.langmuir.1c01681 2022年8月発行 ACS Applied Nano Materials第5巻11707-11714頁に掲載 Vapor-Phase Chemical Etching of Silicon Assisted by Graphene Oxide for Microfabrication and Microcontact Printing DOI：10.1021/acsanm.2c02690 2020年4月発行 Japanese Journal of Applied Physics第59巻SN1001 1-5頁に掲載 Local current mapping of electrochemically-exfoliated graphene oxide by conductive AFM DOI:10.35848/1347-4065/ab80df | ja |
| dc.subject | 酸化グラフェン | ja |
| dc.subject | エッチング | ja |
| dc.subject | 触媒 | ja |
| dc.subject | シリコン | ja |
| dc.subject | InP | en |
| dc.subject.ndc | 500 | - |
| dc.title | Chemical Etching of Semiconductors Assisted by Graphene Oxide | en |
| dc.title.alternative | 酸化グラフェンを触媒として用いた新規半導体加工法の開発 | ja |
| dc.type | doctoral thesis | - |
| dc.type.niitype | Thesis or Dissertation | - |
| dc.textversion | ETD | - |
| dc.description.degreegrantor | 京都大学 | ja |
| dc.description.degreelevel | 新制・課程博士 | - |
| dc.description.degreediscipline | 博士(工学) | ja |
| dc.description.degreereportnumber | 甲第24582号 | - |
| dc.description.degreenumber | 工博第5088号 | - |
| dc.description.degreekucallnumber | 新制||工||1974(附属図書館) | - |
| dc.date.granted | 2023-03-23 | - |
| dc.description.degreeaffiliation | 京都大学大学院工学研究科材料工学専攻 | - |
| dc.description.degreeexamcommittee | (主査)教授 杉村 博之, 教授 邑瀬 邦明, 教授 宇田 哲也 | - |
| dc.description.degreeprovision | 学位規則第4条第1項該当 | - |
| dc.identifier.selfDOI | 10.14989/doctor.k24582 | - |
| dcterms.accessRights | open access | - |
| dc.description.degreediscipline-en | Doctor of Philosophy (Engineering) | en |
| dc.identifier.degreegrantorID | 14301 | - |
| dc.description.degreegrantor-en | Kyoto University | en |
| dc.description.degreeObjectType | DFAM | - |
| jpcoar.contributor.Type | Supervisor | - |
| jpcoar.contributor.Type | Supervisor | - |
| jpcoar.contributor.Type | Supervisor | - |
| jpcoar.contributor.Name | 杉村, 博之 | ja |
| jpcoar.contributor.Name | 邑瀬, 邦明 | ja |
| jpcoar.contributor.Name | 宇田, 哲也 | ja |
| 出現コレクション: | 090 博士(工学) | |
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