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タイトル: 単結晶シリコンへき開面ナノギャップにおける熱輸送の間隔依存性計測
著者: 霜降, 真希  KAKEN_name
著者名の別形: Shimofuri, Masaki
キーワード: ナノギャップ
単結晶シリコン
近接場放射
MEMS
ナノスケール熱特性
発行日: 25-Mar-2024
出版者: Kyoto University
学位授与大学: 京都大学
学位の種類: 新制・課程博士
取得分野: 博士(工学)
報告番号: 甲第25280号
学位記番号: 工博第5239号
metadata.dc.date.granted: 2024-03-25
請求記号: 新制||工||1998(附属図書館)
研究科・専攻: 京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻
論文調査委員: (主査)教授 土屋 智由, 教授 蓮尾 昌裕, 教授 平方 寛之
学位授与の要件: 学位規則第4条第1項該当
著作権等: 許諾条件により本文は2024-12-01に公開
DOI: 10.14989/doctor.k25280
URI: http://hdl.handle.net/2433/288714
出現コレクション:090 博士(工学)

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