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タイトル: High-Field Transport at Heavily-Doped SiC Schottky Contacts and Formation of Non-Alloyed Ohmic Contacts
その他のタイトル: 高濃度ドープSiCショットキー接合における高電界輸送および非合金化オーミック接合の形成
著者: Hara, Masahiro
キーワード: Silicon Carbide
Schottky Contacts
Ohmic Contacts
Tunneling Current
Ion Implantation
Heavy Doping
発行日: 25-Mar-2024
出版者: Kyoto University
記述: 付記する学位プログラム名: 京都大学卓越大学院プログラム「先端光・電子デバイス創成学」
学位授与大学: 京都大学
学位の種類: 新制・課程博士
取得分野: 博士(工学)
報告番号: 甲第25295号
学位記番号: 工博第5254号
学位授与年月日: 2024-03-25
研究科・専攻: 京都大学大学院工学研究科電子工学専攻
論文調査委員: (主査)教授 木本 恒暢, 教授 白石 誠司, 准教授 船戸 充
学位授与の要件: 学位規則第4条第1項該当
著作権等: 許諾条件により本文は2025-03-10に公開
DOI: 10.14989/doctor.k25295
URI: http://hdl.handle.net/2433/288729
出現コレクション:090 博士(工学)

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