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| ファイル | 記述 | サイズ | フォーマット | |
|---|---|---|---|---|
| dkogk05291.pdf | Dissertation_全文 | 5.65 MB | Adobe PDF | [公開前] |
| ykogk05291.pdf | Abstract_要旨 | 249.37 kB | Adobe PDF | 見る/開く |
| タイトル: | Microfabricated Silicon Nano-Electromechanical Resonators with Widely Tunable Resonant Properties for Gas Sensing Application |
| その他のタイトル: | ガスセンサ応用に向けた広帯域共振特性チューニング可能な微細加工シリコンナノ電気機械共振器 |
| 著者: | Yu, Wei |
| 著者名の別形: | 余, 未 |
| キーワード: | Nanomechanical resonator Resonance frequency Gate-tuning Gas sensing Microfabrication |
| 発行日: | 24-Sep-2024 |
| 出版者: | Kyoto University |
| 学位授与大学: | 京都大学 |
| 学位の種類: | 新制・課程博士 |
| 取得分野: | 博士(工学) |
| 報告番号: | 甲第25601号 |
| 学位記番号: | 工博第5291号 |
| metadata.dc.date.granted: | 2024-09-24 |
| 請求記号: | 新制||工||2006(附属図書館) |
| 研究科・専攻: | 京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻 |
| 論文調査委員: | (主査)教授 土屋 智由, 教授 鈴木 基史, 教授 嶋田 隆広 |
| 学位授与の要件: | 学位規則第4条第1項該当 |
| 著作権等: | 許諾条件により本文は2025-09-23に公開 |
| DOI: | 10.14989/doctor.k25601 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/292808 |
| 出現コレクション: | 090 博士(工学) |
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