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完全メタデータレコード
| DCフィールド | 値 | 言語 |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Brijs, B | en |
| dc.contributor.author | Deleu, J | en |
| dc.contributor.author | Conard, T | en |
| dc.contributor.author | De Witte, H | en |
| dc.contributor.author | Vandervorst, W | en |
| dc.contributor.author | Nakajima, K | en |
| dc.contributor.author | Kimura, K | en |
| dc.contributor.author | Genchev, I | en |
| dc.contributor.author | Bergmaier, A | en |
| dc.contributor.author | Goergens, L | en |
| dc.contributor.author | Neumaier, P | en |
| dc.contributor.author | Dollinger, G | en |
| dc.contributor.author | Dobeli, M | en |
| dc.date.accessioned | 2007-03-28T03:13:05Z | - |
| dc.date.available | 2007-03-28T03:13:05Z | - |
| dc.date.issued | 2000 | - |
| dc.identifier.issn | 0168-583X | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/2433/3253 | - |
| dc.language.iso | eng | - |
| dc.publisher | ELSEVIER SCIENCE BV | en |
| dc.subject | Rutherford backscattering | en |
| dc.subject | secondary ion mass spectroscopy | en |
| dc.subject | elastic recoil detection | en |
| dc.subject | X-ray photoelectron spectroscopy | en |
| dc.subject | oxynitride | en |
| dc.title | Characterization of ultra thin oxynitrides: A general approach | en |
| dc.type | journal article | - |
| dc.type.niitype | Journal Article | - |
| dc.identifier.jtitle | NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS | en |
| dc.identifier.volume | 161 | - |
| dc.identifier.spage | 429 | - |
| dc.identifier.epage | 434 | - |
| dc.relation.doi | 10.1016/S0168-583X(99)00674-6 | - |
| dc.textversion | none | - |
| dcterms.accessRights | metadata only access | - |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース | |
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