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タイトル: | Specular surface morphology of 4H-SiC epilayers grown on (1120) face |
著者: | Chen, ZY Kimoto, T https://orcid.org/0000-0002-6649-2090 (unconfirmed) Matsunami, H |
キーワード: | silicon carbide (SiC) chemical vapor deposition surface morphology atomic force microscopy stacking fault |
発行日: | 1999 |
出版者: | JAPAN J APPLIED PHYSICS |
誌名: | JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS |
巻: | 38 |
号: | 12A |
開始ページ: | L1375 |
終了ページ: | L1378 |
URI: | http://hdl.handle.net/2433/3299 |
DOI(出版社版): | 10.1143/JJAP.38.L1375 |
リンク: | Web of Science |
出現コレクション: | 英文論文データベース |
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