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完全メタデータレコード
| DCフィールド | 値 | 言語 |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Bourelle, E | en |
| dc.contributor.author | Suzuki, A | en |
| dc.contributor.author | Sato, A | en |
| dc.contributor.author | Seki, T | en |
| dc.contributor.author | Matsuo, J | en |
| dc.date.accessioned | 2007-03-28T05:37:31Z | - |
| dc.date.available | 2007-03-28T05:37:31Z | - |
| dc.date.issued | 2005 | - |
| dc.identifier.issn | 0168-583X | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/2433/34834 | - |
| dc.language.iso | eng | - |
| dc.publisher | ELSEVIER SCIENCE BV | en |
| dc.subject | gas cluster ion beam | en |
| dc.subject | smoothing | en |
| dc.subject | polishing | en |
| dc.subject | photonic devices | en |
| dc.title | Sidewall polishing with a gas cluster ion beam for photonic device applications | en |
| dc.type | journal article | - |
| dc.type.niitype | Journal Article | - |
| dc.identifier.jtitle | NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS | en |
| dc.identifier.volume | 241 | - |
| dc.identifier.issue | 1-4 | - |
| dc.identifier.spage | 622 | - |
| dc.identifier.epage | 625 | - |
| dc.relation.doi | 10.1016/j.nimb.2005.07.087 | - |
| dc.textversion | none | - |
| dcterms.accessRights | metadata only access | - |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース | |
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