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完全メタデータレコード
| DCフィールド | 値 | 言語 |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Kawase, M | en |
| dc.contributor.author | Miura, K | en |
| dc.date.accessioned | 2007-03-28T05:38:15Z | - |
| dc.date.available | 2007-03-28T05:38:15Z | - |
| dc.date.issued | 2006 | - |
| dc.identifier.issn | 0040-6090 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/2433/34887 | - |
| dc.language.iso | eng | - |
| dc.publisher | ELSEVIER SCIENCE SA | en |
| dc.subject | chemical vapor deposition | en |
| dc.subject | thin tubular reactor | en |
| dc.subject | rate analysis | en |
| dc.subject | pyrolytic carbon | en |
| dc.subject | ethylene | en |
| dc.title | Rate analysis of chemical vapor deposition by use of the thin tubular reactor | en |
| dc.type | journal article | - |
| dc.type.niitype | Journal Article | - |
| dc.identifier.jtitle | THIN SOLID FILMS | en |
| dc.identifier.volume | 498 | - |
| dc.identifier.issue | 1-2 | - |
| dc.identifier.spage | 25 | - |
| dc.identifier.epage | 29 | - |
| dc.relation.doi | 10.1016/j.tsf.2005.07.057 | - |
| dc.textversion | none | - |
| dcterms.accessRights | metadata only access | - |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース | |
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