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dc.contributor.authorFujii, Ren
dc.contributor.authorGotoh, Yen
dc.contributor.authorLiao, MYen
dc.contributor.authorTsuji, Hen
dc.contributor.authorIshikawa, Jen
dc.date.accessioned2007-03-28T05:44:37Z-
dc.date.available2007-03-28T05:44:37Z-
dc.date.issued2006-
dc.identifier.issn0042-207X-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/2433/35355-
dc.language.isoeng-
dc.publisherPERGAMON-ELSEVIER SCIENCE LTDen
dc.subjectcompound-target-sputteringen
dc.subjecttransition metal nitrideen
dc.subjecttransition metal carbideen
dc.subjectwork functionen
dc.subjectelectronegativityen
dc.subjectcold cathodeen
dc.titleWork function measurement of transition metal nitride and carbide thin filmsen
dc.typejournal article-
dc.type.niitypeJournal Article-
dc.identifier.jtitleVACUUMen
dc.identifier.volume80-
dc.identifier.issue7-
dc.identifier.spage832-
dc.identifier.epage835-
dc.relation.doi10.1016/j.vacuum.2005.11.030-
dc.textversionnone-
dcterms.accessRightsmetadata only access-
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