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完全メタデータレコード
| DCフィールド | 値 | 言語 |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Hosoi, S | en |
| dc.contributor.author | Nakajima, K | en |
| dc.contributor.author | Suzuki, M | en |
| dc.contributor.author | Kimura, K | en |
| dc.contributor.author | Shimizu, Y | en |
| dc.contributor.author | Fukatsu, S | en |
| dc.contributor.author | Itoh, KM | en |
| dc.contributor.author | Uematsu, M | en |
| dc.contributor.author | Kageshima, H | en |
| dc.contributor.author | Shiraishi, K | en |
| dc.date.accessioned | 2007-03-28T05:46:24Z | - |
| dc.date.available | 2007-03-28T05:46:24Z | - |
| dc.date.issued | 2006 | - |
| dc.identifier.issn | 0168-583X | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/2433/35486 | - |
| dc.language.iso | eng | - |
| dc.publisher | ELSEVIER SCIENCE BV | en |
| dc.subject | Si emission | en |
| dc.subject | HRBS | en |
| dc.subject | thermal oxidation | en |
| dc.subject | Si isotope | en |
| dc.subject | diffusion | en |
| dc.subject | SiO2 | en |
| dc.title | Observation of Si emission during thermal oxidation of Si(001) with high-resolution RBS | en |
| dc.type | journal article | - |
| dc.type.niitype | Journal Article | - |
| dc.identifier.jtitle | NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS | en |
| dc.identifier.volume | 249 | - |
| dc.identifier.spage | 390 | - |
| dc.identifier.epage | 393 | - |
| dc.relation.doi | 10.1016/j.nimb.2006.04.036 | - |
| dc.textversion | none | - |
| dcterms.accessRights | metadata only access | - |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース | |
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