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完全メタデータレコード
| DCフィールド | 値 | 言語 |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Brijs, B | en |
| dc.contributor.author | Sajavaara, T | en |
| dc.contributor.author | Giangrandi, S | en |
| dc.contributor.author | Janssens, T | en |
| dc.contributor.author | Conard, T | en |
| dc.contributor.author | Arstila, K | en |
| dc.contributor.author | Nakajima, K | en |
| dc.contributor.author | Kimura, K | en |
| dc.contributor.author | Bergmaier, A | en |
| dc.contributor.author | Dollinger, G | en |
| dc.contributor.author | Vantomme, A | en |
| dc.contributor.author | Vandervorst, W | en |
| dc.date.accessioned | 2007-03-28T05:46:27Z | - |
| dc.date.available | 2007-03-28T05:46:27Z | - |
| dc.date.issued | 2006 | - |
| dc.identifier.issn | 0168-583X | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/2433/35489 | - |
| dc.language.iso | eng | - |
| dc.publisher | ELSEVIER SCIENCE BV | en |
| dc.subject | ERDA | en |
| dc.subject | thin film analysis | en |
| dc.subject | light elements | en |
| dc.subject | microelectronics | en |
| dc.title | The analysis of a thin SiO2/Si3N4/SiO2 stack: A comparative study of low-energy heavy ion elastic recoil detection, high-resolution Rutherford backscattering, and secondary ion mass spectrometry | en |
| dc.type | journal article | - |
| dc.type.niitype | Journal Article | - |
| dc.identifier.jtitle | NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS | en |
| dc.identifier.volume | 249 | - |
| dc.identifier.issue | 1-2 | - |
| dc.identifier.spage | 847 | - |
| dc.identifier.epage | 850 | - |
| dc.relation.doi | 10.1016/j.nimb.2006.03.191 | - |
| dc.textversion | none | - |
| dcterms.accessRights | metadata only access | - |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース | |
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