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dc.contributor.authorNinomiya, Sen
dc.contributor.authorAoki, Ten
dc.contributor.authorSeki, Ten
dc.contributor.authorMatsuo, Jen
dc.date.accessioned2007-03-28T05:48:08Z-
dc.date.available2007-03-28T05:48:08Z-
dc.date.issued2006-
dc.identifier.issn0169-4332-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/2433/35612-
dc.language.isoeng-
dc.publisherELSEVIER SCIENCE BVen
dc.subjectoxygen cluster ionen
dc.subjectsecondary ion mass spectrometryen
dc.subjectlow energyen
dc.subjectsputtering yielden
dc.titleSecondary ion measurements for oxygen cluster ion SIMSen
dc.typejournal article-
dc.type.niitypeJournal Article-
dc.identifier.jtitleAPPLIED SURFACE SCIENCEen
dc.identifier.volume252-
dc.identifier.issue19-
dc.identifier.spage7290-
dc.identifier.epage7292-
dc.relation.doi10.1016/j.apsusc.2006.02.138-
dc.textversionnone-
dcterms.accessRightsmetadata only access-
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