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タイトル: | Effects of Al ion implantation to 4H-SiC on the specific contact resistance of TiAl-based contact materials |
著者: | Ito, K Tsukimoto, S Murakami, M |
キーワード: | ohmic contacts specific contact resistance Ti3SiC2 Al ion implantation 4H-SiC |
発行日: | 2006 |
出版者: | ELSEVIER SCI LTD |
誌名: | SCIENCE AND TECHNOLOGY OF ADVANCED MATERIALS |
巻: | 7 |
号: | 6 |
開始ページ: | 496 |
終了ページ: | 501 |
URI: | http://hdl.handle.net/2433/35825 |
DOI(出版社版): | 10.1016/j.stam.2006.04.011 |
リンク: | Web of Science |
出現コレクション: | 英文論文データベース |

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