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dc.contributor.authorGotoh, Yen
dc.contributor.authorTsuji, Hen
dc.contributor.authorIshikawa, Jen
dc.date.accessioned2007-03-28T03:33:47Z-
dc.date.available2007-03-28T03:33:47Z-
dc.date.issued2003-
dc.identifier.issn1071-1023-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/2433/3686-
dc.language.isoeng-
dc.publisherA V S AMER INST PHYSICSen
dc.titleMeasurement of work function of transition metal nitride and carbide thin filmsen
dc.typejournal article-
dc.type.niitypeJournal Article-
dc.identifier.jtitleJOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY Ben
dc.identifier.volume21-
dc.identifier.issue4-
dc.identifier.spage1607-
dc.identifier.epage1611-
dc.relation.doi10.1116/1.1591749-
dc.textversionnone-
dcterms.accessRightsmetadata only access-
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