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完全メタデータレコード
| DCフィールド | 値 | 言語 |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Hattori, T | en |
| dc.contributor.author | Yoshida, T | en |
| dc.contributor.author | Shiraishi, T | en |
| dc.contributor.author | Takahashi, K | en |
| dc.contributor.author | Nohira, H | en |
| dc.contributor.author | Joumori, S | en |
| dc.contributor.author | Nakajima, K | en |
| dc.contributor.author | Suzuki, M | en |
| dc.contributor.author | Kimura, K | en |
| dc.contributor.author | Kashiwagi, I | en |
| dc.contributor.author | Ohshima, C | en |
| dc.contributor.author | Ohmi, S | en |
| dc.contributor.author | Iwai, H | en |
| dc.date.accessioned | 2007-03-28T04:12:34Z | - |
| dc.date.available | 2007-03-28T04:12:34Z | - |
| dc.date.issued | 2004 | - |
| dc.identifier.issn | 0167-9317 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/2433/3830 | - |
| dc.language.iso | eng | - |
| dc.publisher | ELSEVIER SCIENCE BV | en |
| dc.subject | Rutherford back scattering | en |
| dc.subject | photoelectron spectroscopy | en |
| dc.subject | high-k dielectrics | en |
| dc.subject | depth profiling | en |
| dc.subject | electronic band structures | en |
| dc.title | Composition, chemical structure, and electronic band structure of rare earth oxide/Si(100) interfacial transition layer | en |
| dc.type | journal article | - |
| dc.type.niitype | Journal Article | - |
| dc.identifier.jtitle | MICROELECTRONIC ENGINEERING | en |
| dc.identifier.volume | 72 | - |
| dc.identifier.issue | 1-4 | - |
| dc.identifier.spage | 283 | - |
| dc.identifier.epage | 287 | - |
| dc.relation.doi | 10.1016/j.mee.2004.01.005 | - |
| dc.textversion | none | - |
| dcterms.accessRights | metadata only access | - |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース | |
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