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ApplPhysLett_83_4306.pdf357.99 kBAdobe PDF見る/開く
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dc.contributor.authorKimoto, Ken
dc.contributor.authorMatsui, Yen
dc.contributor.authorNabatame, Ten
dc.contributor.authorYasuda, Ten
dc.contributor.authorMizoguchi, Ten
dc.contributor.authorTanaka, Ien
dc.contributor.authorToriumi, Aen
dc.date.accessioned2007-06-14T06:21:10Z-
dc.date.available2007-06-14T06:21:10Z-
dc.date.issued2003-11-24-
dc.identifier.issn0003-6951-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/2433/39661-
dc.format.extent366584 bytes-
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoeng-
dc.publisherAMER INST PHYSICSen
dc.rightsCopyright 2003 American Institute of Physics. This article may be downloaded for personal use only. Any other use requires prior permission of the author and the American Institute of Physics.en
dc.titleCoordination and interface analysis of atomic-layer-deposition Al2O3 on Si(001) using energy-loss near-edge structuresen
dc.typejournal article-
dc.type.niitypeJournal Article-
dc.identifier.jtitleAPPLIED PHYSICS LETTERSen
dc.identifier.volume83-
dc.identifier.issue21-
dc.identifier.spage4306-
dc.identifier.epage4308-
dc.relation.doi10.1063/1.1629397-
dc.textversionpublisher-
dc.relation.urlhttp://link.aip.org/link/?apl/83/4306-
dcterms.accessRightsopen access-
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