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ファイル | 記述 | サイズ | フォーマット | |
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ApplPhysLett_83_4306.pdf | 357.99 kB | Adobe PDF | 見る/開く |
完全メタデータレコード
DCフィールド | 値 | 言語 |
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dc.contributor.author | Kimoto, K | en |
dc.contributor.author | Matsui, Y | en |
dc.contributor.author | Nabatame, T | en |
dc.contributor.author | Yasuda, T | en |
dc.contributor.author | Mizoguchi, T | en |
dc.contributor.author | Tanaka, I | en |
dc.contributor.author | Toriumi, A | en |
dc.date.accessioned | 2007-06-14T06:21:10Z | - |
dc.date.available | 2007-06-14T06:21:10Z | - |
dc.date.issued | 2003-11-24 | - |
dc.identifier.issn | 0003-6951 | - |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/2433/39661 | - |
dc.format.extent | 366584 bytes | - |
dc.format.mimetype | application/pdf | - |
dc.language.iso | eng | - |
dc.publisher | AMER INST PHYSICS | en |
dc.rights | Copyright 2003 American Institute of Physics. This article may be downloaded for personal use only. Any other use requires prior permission of the author and the American Institute of Physics. | en |
dc.title | Coordination and interface analysis of atomic-layer-deposition Al2O3 on Si(001) using energy-loss near-edge structures | en |
dc.type | journal article | - |
dc.type.niitype | Journal Article | - |
dc.identifier.jtitle | APPLIED PHYSICS LETTERS | en |
dc.identifier.volume | 83 | - |
dc.identifier.issue | 21 | - |
dc.identifier.spage | 4306 | - |
dc.identifier.epage | 4308 | - |
dc.relation.doi | 10.1063/1.1629397 | - |
dc.textversion | publisher | - |
dc.relation.url | http://link.aip.org/link/?apl/83/4306 | - |
dcterms.accessRights | open access | - |
出現コレクション: | 学術雑誌掲載論文等 |

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