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タイトル: Quantum chemical study of gas-phase reactions of trimethylaluminium and triethylaluminium with ammonia in III-V nitride semiconductor crystal growth
著者: Ikenaga, M
Nakamura, K  KAKEN_id
Tachibana, A  KAKEN_id
Matsumoto, K
キーワード: computer simulation
regional density functional theory
parasitic reactions
gallium compounds
nitrides
semiconducting III-V materials
発行日: 2002
出版者: ELSEVIER SCIENCE BV
誌名: JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH
巻: 237
開始ページ: 936
終了ページ: 941
URI: http://hdl.handle.net/2433/4117
DOI(出版社版): 10.1016/S0022-0248(01)02002-4
リンク: Web of Science
出現コレクション:英文論文データベース

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