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完全メタデータレコード
| DCフィールド | 値 | 言語 |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Ishikawa, J | en |
| dc.contributor.author | Gotoh, Y | en |
| dc.contributor.author | Nakamura, K | en |
| dc.contributor.author | Kojima, T | en |
| dc.contributor.author | Tsuji, H | en |
| dc.contributor.author | Ikejiri, T | en |
| dc.contributor.author | Sakai, S | en |
| dc.contributor.author | Umisedo, S | en |
| dc.contributor.author | Nagai, N | en |
| dc.contributor.author | Nagao, M | en |
| dc.contributor.author | Kanemaru, S | en |
| dc.date.accessioned | 2007-03-28T03:17:17Z | - |
| dc.date.available | 2007-03-28T03:17:17Z | - |
| dc.date.issued | 2005 | - |
| dc.identifier.issn | 0168-583X | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/2433/4271 | - |
| dc.language.iso | eng | - |
| dc.publisher | ELSEVIER SCIENCE BV | en |
| dc.subject | ion implantation | en |
| dc.subject | wafer charging | en |
| dc.subject | charge neutralization | en |
| dc.subject | space charge | en |
| dc.subject | field emission arrays | en |
| dc.subject | energy distribution | en |
| dc.title | Silicon field emission array as novel charge neutralization device for high current ion implanter | en |
| dc.type | journal article | - |
| dc.type.niitype | Journal Article | - |
| dc.identifier.jtitle | NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS | en |
| dc.identifier.volume | 237 | - |
| dc.identifier.issue | 1-2 | - |
| dc.identifier.spage | 390 | - |
| dc.identifier.epage | 394 | - |
| dc.relation.doi | 10.1016/j.nimb.2005.05.033 | - |
| dc.textversion | none | - |
| dcterms.accessRights | metadata only access | - |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース | |
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