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dc.contributor.authorMARUYAMA, Ten
dc.contributor.authorMORISHITA, Ten
dc.date.accessioned2007-06-20T08:07:47Z-
dc.date.available2007-06-20T08:07:47Z-
dc.date.issued1994-11-15-
dc.identifier.issn0021-8979-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/2433/43535-
dc.format.extent368657 bytes-
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoeng-
dc.publisherAMER INST PHYSICSen
dc.rightsCopyright 1994 American Institute of Physics. This article may be downloaded for personal use only. Any other use requires prior permission of the author and the American Institute of Physics.en
dc.titleIndium nitride thin films prepared by radio-frequency reactive sputteringen
dc.typejournal article-
dc.type.niitypeJournal Article-
dc.identifier.jtitleJOURNAL OF APPLIED PHYSICSen
dc.identifier.volume76-
dc.identifier.issue10-
dc.identifier.spage5809-
dc.identifier.epage5812-
dc.relation.doi10.1063/1.358480-
dc.textversionpublisher-
dc.relation.urlhttp://link.aip.org/link/?jap/76/5809-
dcterms.accessRightsopen access-
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