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| ファイル | 記述 | サイズ | フォーマット | |
|---|---|---|---|---|
| JApplPhys_77_6641.pdf | 482.27 kB | Adobe PDF | 見る/開く |
完全メタデータレコード
| DCフィールド | 値 | 言語 |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | MARUYAMA, T | en |
| dc.contributor.author | MORISHITA, T | en |
| dc.date.accessioned | 2007-06-20T08:07:47Z | - |
| dc.date.available | 2007-06-20T08:07:47Z | - |
| dc.date.issued | 1995-06-15 | - |
| dc.identifier.issn | 0021-8979 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/2433/43536 | - |
| dc.format.extent | 493842 bytes | - |
| dc.format.mimetype | application/pdf | - |
| dc.language.iso | eng | - |
| dc.publisher | AMER INST PHYSICS | en |
| dc.rights | Copyright 1995 American Institute of Physics. This article may be downloaded for personal use only. Any other use requires prior permission of the author and the American Institute of Physics. | en |
| dc.title | Tin nitride thin films prepared by radio-frequency reactive sputtering | en |
| dc.type | journal article | - |
| dc.type.niitype | Journal Article | - |
| dc.identifier.jtitle | JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | en |
| dc.identifier.volume | 77 | - |
| dc.identifier.issue | 12 | - |
| dc.identifier.spage | 6641 | - |
| dc.identifier.epage | 6645 | - |
| dc.relation.doi | 10.1063/1.359075 | - |
| dc.textversion | publisher | - |
| dc.relation.url | http://link.aip.org/link/?jap/77/6641 | - |
| dcterms.accessRights | open access | - |
| 出現コレクション: | 学術雑誌掲載論文等 | |
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