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| ファイル | 記述 | サイズ | フォーマット | |
|---|---|---|---|---|
| JApplPhys_78_4104.pdf | 382.36 kB | Adobe PDF | 見る/開く |
| タイトル: | Copper nitride thin films prepared by radio-frequency reactive sputtering |
| 著者: | MARUYAMA, T MORISHITA, T |
| 発行日: | 15-Sep-1995 |
| 出版者: | AMER INST PHYSICS |
| 誌名: | JOURNAL OF APPLIED PHYSICS |
| 巻: | 78 |
| 号: | 6 |
| 開始ページ: | 4104 |
| 終了ページ: | 4107 |
| 著作権等: | Copyright 1995 American Institute of Physics. This article may be downloaded for personal use only. Any other use requires prior permission of the author and the American Institute of Physics. |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/43537 |
| DOI(出版社版): | 10.1063/1.359868 |
| 関連リンク: | http://link.aip.org/link/?jap/78/4104 |
| 出現コレクション: | 学術雑誌掲載論文等 |
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