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dc.contributor.authorKimoto, Ten
dc.contributor.authorHirao, Ten
dc.contributor.authorNakazawa, Sen
dc.contributor.authorShiomi, Hen
dc.contributor.authorMatsunami, Hen
dc.date.accessioned2007-03-28T03:31:02Z-
dc.date.available2007-03-28T03:31:02Z-
dc.date.issued2003-
dc.identifier.issn0022-0248-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/2433/4860-
dc.language.isoeng-
dc.publisherELSEVIER SCIENCE BVen
dc.subjectchemical vapor depositionen
dc.subjectvapor phase epitaxyen
dc.subjectsemiconducting silicon compoundsen
dc.subjectdopingen
dc.titleHomoepitaxial growth of 4H-SiC(0 3 (3)over-bar-8) and nitrogen doping by chemical vapor depositionen
dc.typejournal article-
dc.type.niitypeJournal Article-
dc.identifier.jtitleJOURNAL OF CRYSTAL GROWTHen
dc.identifier.volume249-
dc.identifier.issue1-2-
dc.identifier.spage208-
dc.identifier.epage215-
dc.relation.doi10.1016/S0022-0248(02)02098-5-
dc.textversionnone-
dcterms.accessRightsmetadata only access-
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