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完全メタデータレコード
| DCフィールド | 値 | 言語 |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Kimura, K | en |
| dc.contributor.author | Joumori, S | en |
| dc.contributor.author | Oota, Y | en |
| dc.contributor.author | Nakajima, K | en |
| dc.contributor.author | Suzuki, M | en |
| dc.date.accessioned | 2007-03-28T04:21:14Z | - |
| dc.date.available | 2007-03-28T04:21:14Z | - |
| dc.date.issued | 2004 | - |
| dc.identifier.issn | 0168-583X | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/2433/4874 | - |
| dc.language.iso | eng | - |
| dc.publisher | ELSEVIER SCIENCE BV | en |
| dc.subject | high-resolution Rutherford backscattering spectroscopy | en |
| dc.subject | molecular effect | en |
| dc.subject | ultra-shallow dopant depth profiling | en |
| dc.subject | nitrogen profiling | en |
| dc.subject | SIMS | en |
| dc.subject | strain profiling | en |
| dc.title | High-resolution RBS: a powerful tool for atomic level characterization | en |
| dc.type | journal article | - |
| dc.type.niitype | Journal Article | - |
| dc.identifier.jtitle | NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS | en |
| dc.identifier.volume | 219-20 | - |
| dc.identifier.spage | 351 | - |
| dc.identifier.epage | 357 | - |
| dc.relation.doi | 10.1016/j.nimb.2004.01.081 | - |
| dc.textversion | none | - |
| dcterms.accessRights | metadata only access | - |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース | |
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