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| ファイル | 記述 | サイズ | フォーマット | |
|---|---|---|---|---|
| RevSciInstrum_77_03B508.pdf | 76.22 kB | Adobe PDF | 見る/開く |
完全メタデータレコード
| DCフィールド | 値 | 言語 |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Takaoka, GH | en |
| dc.contributor.author | Noguchi, H | en |
| dc.contributor.author | Nakayama, K | en |
| dc.contributor.author | Seki, T | en |
| dc.contributor.author | Kawashita, M | en |
| dc.date.accessioned | 2008-03-18T01:05:47Z | - |
| dc.date.available | 2008-03-18T01:05:47Z | - |
| dc.date.issued | 2006-03 | - |
| dc.identifier.issn | 0034-6748 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/2433/50110 | - |
| dc.language.iso | eng | - |
| dc.publisher | AMER INST PHYSICS | en |
| dc.rights | Copyright 2006 American Institute of Physics. This article may be downloaded for personal use only. Any other use requires prior permission of the author and the American Institute of Physics. | en |
| dc.title | Surface cleaning and modification of Si(100) substrates by ethanol and water cluster ion beams | en |
| dc.type | journal article | - |
| dc.type.niitype | Journal Article | - |
| dc.identifier.jtitle | REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS | en |
| dc.identifier.volume | 77 | - |
| dc.identifier.issue | 3 | - |
| dc.relation.doi | 10.1063/1.2172342 | - |
| dc.textversion | publisher | - |
| dc.identifier.artnum | 03B508 | - |
| dc.relation.url | http://link.aip.org/link/?rsi/77/03B508 | - |
| dcterms.accessRights | open access | - |
| 出現コレクション: | 学術雑誌掲載論文等 | |
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