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| タイトル: | Numerical analysis of the electromagnetic fields in a microwave plasma source excited by azimuthally symmetric surface waves |
| 著者: | Kousaka, H Ono, K  |
| キーワード: | high-density plasma source microwave injection azimuthally symmetric surface waves FDTD dispersion relation |
| 発行日: | 2002 |
| 出版者: | INST PURE APPLIED PHYSICS |
| 誌名: | JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS |
| 巻: | 41 |
| 号: | 4A |
| 開始ページ: | 2199 |
| 終了ページ: | 2206 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/5152 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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