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完全メタデータレコード
| DCフィールド | 値 | 言語 |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Liao, MY | en |
| dc.contributor.author | Gotoh, Y | en |
| dc.contributor.author | Tsuji, H | en |
| dc.contributor.author | Ishikawa, J | en |
| dc.date.accessioned | 2007-03-28T03:25:33Z | - |
| dc.date.available | 2007-03-28T03:25:33Z | - |
| dc.date.issued | 2004 | - |
| dc.identifier.issn | 0734-2101 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/2433/5305 | - |
| dc.language.iso | eng | - |
| dc.publisher | A V S AMER INST PHYSICS | en |
| dc.title | Growth and stress evolution of hafnium nitride films sputtered from a compound target | en |
| dc.type | journal article | - |
| dc.type.niitype | Journal Article | - |
| dc.identifier.jtitle | JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A | en |
| dc.identifier.volume | 22 | - |
| dc.identifier.issue | 1 | - |
| dc.identifier.spage | 214 | - |
| dc.identifier.epage | 220 | - |
| dc.relation.doi | 10.1116/1.1636159 | - |
| dc.textversion | none | - |
| dcterms.accessRights | metadata only access | - |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース | |
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