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完全メタデータレコード
| DCフィールド | 値 | 言語 |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Momose, S | en |
| dc.contributor.author | Nakamura, T | en |
| dc.contributor.author | Tachibana, K | en |
| dc.date.accessioned | 2007-03-28T03:15:20Z | - |
| dc.date.available | 2007-03-28T03:15:20Z | - |
| dc.date.issued | 2002 | - |
| dc.identifier.issn | 0021-4922 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/2433/5804 | - |
| dc.language.iso | eng | - |
| dc.publisher | INST PURE APPLIED PHYSICS | en |
| dc.subject | DRAM | en |
| dc.subject | microdischarge optical emission spectroscopy | en |
| dc.subject | (Ba,Sr)TiO3 | en |
| dc.subject | liquid-source MOCVD | en |
| dc.subject | Ti(t-BuO)(2)(DPM)(2) | en |
| dc.subject | Sr(DPM)(2) | en |
| dc.subject | precursor | en |
| dc.subject | oxidation gas | en |
| dc.title | Film precursor formation in metalorganic chemical vapor deposition of barium strontium titanate films: A study by microdischarge optical emission spectroscopy | en |
| dc.type | journal article | - |
| dc.type.niitype | Journal Article | - |
| dc.identifier.jtitle | JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS | en |
| dc.identifier.volume | 41 | - |
| dc.identifier.issue | 2A | - |
| dc.identifier.spage | 778 | - |
| dc.identifier.epage | 783 | - |
| dc.relation.doi | 10.1143/JJAP.41.778 | - |
| dc.textversion | none | - |
| dcterms.accessRights | metadata only access | - |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース | |
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