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| タイトル: | Microdischarge optical emission spectroscopy as a novel diagnostic tool for metalorganic chemical vapor deposition of (Ba,Sr)TiO3 films |
| 著者: | Momose, S Nakamura, T    https://orcid.org/0000-0001-9008-5586 (unconfirmed)Tachibana, K |
| キーワード: | microdischarge optical emission spectroscopy DRAM (Ba,Sr)TiO3 liquid-source MOCVD rotational temperature thermal decomposition oxidation |
| 発行日: | 2000 |
| 出版者: | JAPAN J APPLIED PHYSICS |
| 誌名: | JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS |
| 巻: | 39 |
| 号: | 2A |
| 開始ページ: | 555 |
| 終了ページ: | 559 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/5805 |
| DOI(出版社版): | 10.1143/JJAP.39.555 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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