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| タイトル: | Diagnosis of oxidation reactions in metalorganic chemical vapor deposition of (Ba,Sr)TiO3 films by in situ Fourier transform infrared spectroscopy |
| 著者: | Momose, S Sahara, R Nakamura, T    https://orcid.org/0000-0001-9008-5586 (unconfirmed)Tachibana, K |
| キーワード: | in situ FT-IR spectroscopy (Ba,Sr)TiO3 liquid-source MOCVD Ti(t-BuO)(2)(DPM)(2) Sr(DPM)2 N2O |
| 発行日: | 2001 |
| 出版者: | INST PURE APPLIED PHYSICS |
| 誌名: | JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS |
| 巻: | 40 |
| 号: | 9B |
| 開始ページ: | 5501 |
| 終了ページ: | 5506 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/5806 |
| DOI(出版社版): | 10.1143/JJAP.40.5501 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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