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| タイトル: | Grain growth mechanism of Cu thin films |
| 著者: | Murakami, M Moriyama, M Tsukimoto, S Ito, K |
| キーワード: | grain growth copper thin film strain energy |
| 発行日: | 2005 |
| 出版者: | JAPAN INST METALS |
| 誌名: | MATERIALS TRANSACTIONS |
| 巻: | 46 |
| 号: | 7 |
| 開始ページ: | 1737 |
| 終了ページ: | 1740 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/5982 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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