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dc.contributor.authorNakai, Aen
dc.contributor.authorAoki, Ten
dc.contributor.authorSeki, Ten
dc.contributor.authorMatsuo, Jen
dc.contributor.authorTakaoka, GHen
dc.contributor.authorYamada, Ien
dc.date.accessioned2007-03-28T04:09:28Z-
dc.date.available2007-03-28T04:09:28Z-
dc.date.issued2003-
dc.identifier.issn0168-583X-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/2433/6110-
dc.language.isoeng-
dc.publisherELSEVIER SCIENCE BVen
dc.subjectclusteren
dc.subjectsurfaceen
dc.subjectsmoothingen
dc.subjection beam processingen
dc.titleModeling of surface smoothing process by cluster ion beam irradiationen
dc.typejournal article-
dc.type.niitypeJournal Article-
dc.identifier.jtitleNUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMSen
dc.identifier.volume206-
dc.identifier.spage842-
dc.identifier.epage845-
dc.relation.doi10.1016/S0168-583X(03)00875-9-
dc.textversionnone-
dcterms.accessRightsmetadata only access-
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