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完全メタデータレコード
| DCフィールド | 値 | 言語 |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Nakajima, K | en |
| dc.contributor.author | Joumori, S | en |
| dc.contributor.author | Suzuki, M | en |
| dc.contributor.author | Kimura, K | en |
| dc.contributor.author | Osipowicz, T | en |
| dc.contributor.author | Tok, KL | en |
| dc.contributor.author | Zheng, JZ | en |
| dc.contributor.author | See, A | en |
| dc.contributor.author | Zhang, BC | en |
| dc.date.accessioned | 2007-03-28T03:37:18Z | - |
| dc.date.available | 2007-03-28T03:37:18Z | - |
| dc.date.issued | 2003 | - |
| dc.identifier.issn | 0003-6951 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/2433/6118 | - |
| dc.language.iso | eng | - |
| dc.publisher | AMER INST PHYSICS | en |
| dc.title | Strain profiling of HfO2/Si(001) interface with high-resolution Rutherford backscattering spectroscopy | en |
| dc.type | journal article | - |
| dc.type.niitype | Journal Article | - |
| dc.identifier.jtitle | APPLIED PHYSICS LETTERS | en |
| dc.identifier.volume | 83 | - |
| dc.identifier.issue | 2 | - |
| dc.identifier.spage | 296 | - |
| dc.identifier.epage | 298 | - |
| dc.relation.doi | 10.1063/1.1592310 | - |
| dc.textversion | none | - |
| dcterms.accessRights | metadata only access | - |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース | |
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