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完全メタデータレコード
DCフィールド | 値 | 言語 |
---|---|---|
dc.contributor.author | Nakajima, K | en |
dc.contributor.author | Toyofuku, H | en |
dc.contributor.author | Kimura, K | en |
dc.date.accessioned | 2007-03-28T04:11:05Z | - |
dc.date.available | 2007-03-28T04:11:05Z | - |
dc.date.issued | 2001 | - |
dc.identifier.issn | 0021-4922 | - |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/2433/6126 | - |
dc.language.iso | eng | - |
dc.publisher | INST PURE APPLIED PHYSICS | en |
dc.subject | ultralow energy | en |
dc.subject | ion implantation | en |
dc.subject | amorphization | en |
dc.subject | defect | en |
dc.subject | high-resolution | en |
dc.subject | RBS | en |
dc.title | Anomalous surface amorphization of Si(001) induced by 3-5 keV Ar+ ion bombardment | en |
dc.type | journal article | - |
dc.type.niitype | Journal Article | - |
dc.identifier.jtitle | JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS | en |
dc.identifier.volume | 40 | - |
dc.identifier.issue | 4A | - |
dc.identifier.spage | 2119 | - |
dc.identifier.epage | 2122 | - |
dc.relation.doi | 10.1143/JJAP.40.2119 | - |
dc.textversion | none | - |
dcterms.accessRights | metadata only access | - |
出現コレクション: | 英文論文データベース |

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