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| タイトル: | In situ infrared spectroscopic study on a titanium source in MOCVD |
| 著者: | Nakamura, T    https://orcid.org/0000-0001-9008-5586 (unconfirmed)Nishimura, T Momose, S Tachibana, K |
| 発行日: | 2004 |
| 出版者: | ELECTROCHEMICAL SOC INC |
| 誌名: | JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY |
| 巻: | 151 |
| 号: | 10 |
| 開始ページ: | C605 |
| 終了ページ: | C609 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/6165 |
| DOI(出版社版): | 10.1149/1.1784151 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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