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dc.contributor.authorHori, Tsutomuen
dc.contributor.authorDanno, Katsunorien
dc.contributor.authorKimoto, Tsunenobuen
dc.date.accessioned2008-11-17T03:01:06Z-
dc.date.available2008-11-17T03:01:06Z-
dc.date.issued2007-
dc.identifier.issn0022-0248-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/2433/67209-
dc.language.isoeng-
dc.publisherELSEVIER SCIENCE BVen
dc.subjecthot-wall epitaxyen
dc.subjectvapor phase epitaxyen
dc.subjectsemiconducting materialsen
dc.titleFast homoepitaxial growth of 4H-SiC with low basal-plane dislocation density and low trap concentration by hot-wall chemical vapor depositionen
dc.typejournal article-
dc.type.niitypeJournal Article-
dc.identifier.jtitleJOURNAL OF CRYSTAL GROWTHen
dc.identifier.volume306-
dc.identifier.issue2-
dc.identifier.spage297-
dc.identifier.epage302-
dc.relation.doi10.1016/j.jcrysgro.2007.05.009-
dc.textversionnone-
dcterms.accessRightsmetadata only access-
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