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完全メタデータレコード
| DCフィールド | 値 | 言語 |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Suzuki, A. | en |
| dc.contributor.author | Bourelle, E. | en |
| dc.contributor.author | Sato, A. | en |
| dc.contributor.author | Seki, T. | en |
| dc.contributor.author | Matsuo, J. | en |
| dc.date.accessioned | 2008-11-17T03:06:26Z | - |
| dc.date.available | 2008-11-17T03:06:26Z | - |
| dc.date.issued | 2007 | - |
| dc.identifier.issn | 0168-583X | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/2433/67563 | - |
| dc.language.iso | eng | - |
| dc.publisher | ELSEVIER SCIENCE BV | en |
| dc.subject | gas cluster ion beam | en |
| dc.subject | oblique irradiation | en |
| dc.subject | MEMS | en |
| dc.subject | mirror | en |
| dc.subject | polishing | en |
| dc.subject | surface roughness | en |
| dc.title | Effect of oblique irradiation of gas cluster ion beam on surface properties of gold mirrors | en |
| dc.type | journal article | - |
| dc.type.niitype | Journal Article | - |
| dc.identifier.jtitle | NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS | en |
| dc.identifier.volume | 257 | - |
| dc.identifier.spage | 649 | - |
| dc.identifier.epage | 652 | - |
| dc.relation.doi | 10.1016/j.nimb.2007.01.054 | - |
| dc.textversion | none | - |
| dcterms.accessRights | metadata only access | - |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース | |
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