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完全メタデータレコード
| DCフィールド | 値 | 言語 |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Ichiki, K. | en |
| dc.contributor.author | Ninomiya, S. | en |
| dc.contributor.author | Seki, T. | en |
| dc.contributor.author | Aoki, T. | en |
| dc.contributor.author | Matsuo, J. | en |
| dc.date.accessioned | 2008-11-17T03:06:54Z | - |
| dc.date.available | 2008-11-17T03:06:54Z | - |
| dc.date.issued | 2007 | - |
| dc.identifier.issn | 0168-583X | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/2433/67594 | - |
| dc.language.iso | eng | - |
| dc.publisher | ELSEVIER SCIENCE BV | en |
| dc.subject | cluster ion bombardment | en |
| dc.subject | SIMS | en |
| dc.subject | QMS | en |
| dc.subject | secondary ion | en |
| dc.subject | surface oxidation | en |
| dc.title | Surface oxidation of Si assisted by irradiation with large gas cluster ion beam in an oxygen atmosphere | en |
| dc.type | journal article | - |
| dc.type.niitype | Journal Article | - |
| dc.identifier.jtitle | NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS | en |
| dc.identifier.volume | 256 | - |
| dc.identifier.issue | 1 | - |
| dc.identifier.spage | 350 | - |
| dc.identifier.epage | 353 | - |
| dc.relation.doi | 10.1016/j.nimb.2006.12.026 | - |
| dc.textversion | none | - |
| dcterms.accessRights | metadata only access | - |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース | |
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