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| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| D_Iizuka_Takashi.pdf | Dissertation_全文 | 6.6 MB | Adobe PDF | View/Open |
| yenek00023.pdf | Abstract_要旨 | 355.17 kB | Adobe PDF | View/Open |
| Title: | スパッタリング薄膜の構造・機械的特性に関する分子動力学解析 |
| Authors: | 飯塚, 高志  |
| Author's alias: | Iizuka, Takashi |
| Issue Date: | 24-Nov-2000 |
| Publisher: | 京都大学 |
| Conferring University: | 京都大学 |
| Degree Level: | 新制・課程博士 |
| Degree Discipline: | 博士(エネルギー科学) |
| Degree Report no.: | 甲第8633号 |
| Degree no.: | エネ博第23号 |
| Conferral date: | 2000-11-24 |
| Degree Call no.: | 新制||エネ||8(附属図書館) |
| Degree Affiliation: | 京都大学大学院エネルギー科学研究科エネルギー変換科学専攻 |
| Examination Committee members: | (主査)教授 松本 英治, 教授 井上 達雄, 助教授 星出 敏彦 |
| Provisions of the Ruling of Degree: | 学位規則第4条第1項該当 |
| DOI: | 10.11501/3176405 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/68744 |
| Appears in Collections: | 120 Doctoral Dissertation (Energy Science) |
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