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| ファイル | 記述 | サイズ | フォーマット | |
|---|---|---|---|---|
| D_Iizuka_Takashi.pdf | Dissertation_全文 | 6.6 MB | Adobe PDF | 見る/開く |
| yenek00023.pdf | Abstract_要旨 | 355.17 kB | Adobe PDF | 見る/開く |
| タイトル: | スパッタリング薄膜の構造・機械的特性に関する分子動力学解析 |
| 著者: | 飯塚, 高志  |
| 著者名の別形: | Iizuka, Takashi |
| 発行日: | 24-Nov-2000 |
| 出版者: | 京都大学 |
| 学位授与大学: | 京都大学 |
| 学位の種類: | 新制・課程博士 |
| 取得分野: | 博士(エネルギー科学) |
| 報告番号: | 甲第8633号 |
| 学位記番号: | エネ博第23号 |
| 学位授与年月日: | 2000-11-24 |
| 請求記号: | 新制||エネ||8(附属図書館) |
| 研究科・専攻: | 京都大学大学院エネルギー科学研究科エネルギー変換科学専攻 |
| 論文調査委員: | (主査)教授 松本 英治, 教授 井上 達雄, 助教授 星出 敏彦 |
| 学位授与の要件: | 学位規則第4条第1項該当 |
| DOI: | 10.11501/3176405 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/68744 |
| 出現コレクション: | 120 博士(エネルギー科学) |
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