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| タイトル: | Microtexture and electromigration-induced drift in electroplated damascene Cu |
| 著者: | Proost, J Hirato, T   https://orcid.org/0000-0003-3030-1632 (unconfirmed)Furuhara, T Maex, K Celis, JP |
| 発行日: | 2000 |
| 出版者: | AMER INST PHYSICS |
| 誌名: | JOURNAL OF APPLIED PHYSICS |
| 巻: | 87 |
| 号: | 6 |
| 開始ページ: | 2792 |
| 終了ページ: | 2802 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/6893 |
| DOI(出版社版): | 10.1063/1.372258 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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