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完全メタデータレコード
| DCフィールド | 値 | 言語 |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Suzuki, T | en |
| dc.contributor.author | Kanno, I | en |
| dc.contributor.author | Loverich, JJ | en |
| dc.contributor.author | Kotera, H | en |
| dc.contributor.author | Wasa, K | en |
| dc.date.accessioned | 2007-03-28T03:21:27Z | - |
| dc.date.available | 2007-03-28T03:21:27Z | - |
| dc.date.issued | 2006 | - |
| dc.identifier.issn | 0924-4247 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/2433/7468 | - |
| dc.language.iso | eng | - |
| dc.publisher | ELSEVIER SCIENCE SA | en |
| dc.subject | piezoelectric effect | en |
| dc.subject | thin film | en |
| dc.subject | PZT | en |
| dc.subject | stainless steel substrate | en |
| dc.subject | RF-magnetron sputtering | en |
| dc.subject | MEMS | en |
| dc.title | Characterization of Pb(Zr,Ti)O-3 thin films deposited on stainless steel substrates by RF-magnetron sputtering for MEMS applications | en |
| dc.type | journal article | - |
| dc.type.niitype | Journal Article | - |
| dc.identifier.jtitle | SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL | en |
| dc.identifier.volume | 125 | - |
| dc.identifier.issue | 2 | - |
| dc.identifier.spage | 382 | - |
| dc.identifier.epage | 386 | - |
| dc.relation.doi | 10.1016/j.sna.2005.08.010 | - |
| dc.textversion | none | - |
| dcterms.accessRights | metadata only access | - |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース | |
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