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| ファイル | 記述 | サイズ | フォーマット | |
|---|---|---|---|---|
| D_Usui_Hiroaki.pdf | Dissertation_全文 | 55.18 MB | Adobe PDF | 見る/開く |
| ykogk00996.pdf | Abstract_要旨 | 260.7 kB | Adobe PDF | 見る/開く |
| タイトル: | IONIZED CLUSTER BEAM TECHNIQUES: Formation of Cluster Beams by Vaporized Solid Materials and Their Applications to Film Depositions |
| その他のタイトル: | クラスターイオンビーム技術 : 蒸気化固体物質によるクラスタービームの生成と、その薄膜形成への応用 |
| 著者: | Usui, Hiroaki |
| 著者名の別形: | 臼井, 博明 |
| 発行日: | 23-Mar-1988 |
| 出版者: | Kyoto University |
| 学位授与大学: | 京都大学 |
| 学位の種類: | 新制・課程博士 |
| 取得分野: | 工学博士 |
| 報告番号: | 甲第3986号 |
| 学位記番号: | 工博第996号 |
| 学位授与年月日: | 1988-03-23 |
| 請求記号: | 新制||工||714(附属図書館) |
| 研究科・専攻: | 京都大学大学院工学研究科電子工学専攻 |
| 論文調査委員: | (主査)教授 高木 俊宜, 教授 山田 公, 教授 川端 昭 |
| 学位授与の要件: | 学位規則第5条第1項該当 |
| DOI: | 10.14989/doctor.k3986 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/74708 |
| 出現コレクション: | 090 博士(工学) |
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