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完全メタデータレコード
DCフィールド | 値 | 言語 |
---|---|---|
dc.contributor.author | Takahashi, K | en |
dc.contributor.author | Mitamura, T | en |
dc.contributor.author | Ono, K | en |
dc.contributor.author | Setsuhara, Y | en |
dc.contributor.author | Itoh, A | en |
dc.contributor.author | Tachibana, K | en |
dc.date.accessioned | 2007-03-28T03:11:18Z | - |
dc.date.available | 2007-03-28T03:11:18Z | - |
dc.date.issued | 2003 | - |
dc.identifier.issn | 0003-6951 | - |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/2433/7548 | - |
dc.language.iso | eng | - |
dc.publisher | AMER INST PHYSICS | en |
dc.title | Characterization of porosity and dielectric constant of fluorocarbon porous films synthesized by using plasma-enhanced chemical vapor deposition and solvent process | en |
dc.type | journal article | - |
dc.type.niitype | Journal Article | - |
dc.identifier.jtitle | APPLIED PHYSICS LETTERS | en |
dc.identifier.volume | 82 | - |
dc.identifier.issue | 15 | - |
dc.identifier.spage | 2476 | - |
dc.identifier.epage | 2478 | - |
dc.relation.doi | 10.1063/1.1567050 | - |
dc.textversion | none | - |
dc.relation.url | http://hdl.handle.net/2433/7548 | - |
dcterms.accessRights | metadata only access | - |
出現コレクション: | 英文論文データベース |

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