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| タイトル: | Measurements of atomic carbon density in processing plasmas by vacuum ultraviolet laser absorption spectroscopy |
| 著者: | Tanaka, N Tachibana, K |
| 発行日: | 2002 |
| 出版者: | AMER INST PHYSICS |
| 誌名: | JOURNAL OF APPLIED PHYSICS |
| 巻: | 92 |
| 号: | 10 |
| 開始ページ: | 5684 |
| 終了ページ: | 5690 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/7765 |
| DOI(出版社版): | 10.1063/1.1513877 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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