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完全メタデータレコード
| DCフィールド | 値 | 言語 |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Horita, Masahiro | en |
| dc.contributor.author | Kimoto, Tsunenobu | en |
| dc.contributor.author | Suda, Jun | en |
| dc.date.accessioned | 2009-06-23T05:26:00Z | - |
| dc.date.available | 2009-06-23T05:26:00Z | - |
| dc.date.issued | 2008 | - |
| dc.identifier.issn | 0021-4922 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/2433/78600 | - |
| dc.language.iso | eng | - |
| dc.publisher | INST PURE APPLIED PHYSICS | en |
| dc.subject | SiC | en |
| dc.subject | gas etching | en |
| dc.subject | nonpolar | en |
| dc.subject | surface mophology | en |
| dc.subject | a-plane | en |
| dc.subject | m-plane | en |
| dc.title | Surface Morphologies of 4H-SiC(11(2)over-bar0) and (1(1)over-bar00) Treated by High-Temperature Gas Etching | en |
| dc.type | journal article | - |
| dc.type.niitype | Journal Article | - |
| dc.identifier.jtitle | JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | en |
| dc.identifier.volume | 47 | - |
| dc.identifier.issue | 11 | - |
| dc.identifier.spage | 8388 | - |
| dc.identifier.epage | 8390 | - |
| dc.relation.doi | 10.1143/JJAP.47.8388 | - |
| dc.textversion | none | - |
| dcterms.accessRights | metadata only access | - |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース | |
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