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dc.contributor.authorKomori, Men
dc.contributor.authorUchiyama, Hen
dc.contributor.authorTakebe, Hen
dc.contributor.authorKusuura, Ten
dc.contributor.authorKobayashi, Ken
dc.contributor.authorKuwahara, Hen
dc.contributor.authorTsuchiya, Ten
dc.date.accessioned2009-06-23T05:28:17Z-
dc.date.available2009-06-23T05:28:17Z-
dc.date.issued2008-
dc.identifier.issn0960-1317-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/2433/78746-
dc.language.isoeng-
dc.publisherIOP PUBLISHING LTDen
dc.titleMicro/nanoimprinting of glass under high temperature using a CVD diamond molden
dc.typeconference paper-
dc.type.niitypeConference Paper-
dc.identifier.jtitleJOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERINGen
dc.identifier.volume18-
dc.identifier.issue6-
dc.relation.doi10.1088/0960-1317/18/6/065013-
dc.textversionnone-
dc.identifier.artnum065013-
dcterms.accessRightsmetadata only access-
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