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完全メタデータレコード
DCフィールド | 値 | 言語 |
---|---|---|
dc.contributor.author | Ikehara, T | en |
dc.contributor.author | Tsuchiya, T | en |
dc.date.accessioned | 2009-06-23T05:31:37Z | - |
dc.date.available | 2009-06-23T05:31:37Z | - |
dc.date.issued | 2008 | - |
dc.identifier.issn | 0960-1317 | - |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/2433/78961 | - |
dc.language.iso | eng | - |
dc.publisher | IOP PUBLISHING LTD | en |
dc.title | High-cycle fatigue of micromachined single-crystal silicon measured using high-resolution patterned specimens | en |
dc.type | journal article | - |
dc.type.niitype | Journal Article | - |
dc.identifier.jtitle | JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING | en |
dc.identifier.volume | 18 | - |
dc.identifier.issue | 7 | - |
dc.relation.doi | 10.1088/0960-1317/18/7/075004 | - |
dc.textversion | none | - |
dc.identifier.artnum | 075004 | - |
dcterms.accessRights | metadata only access | - |
出現コレクション: | 英文論文データベース |

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