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タイトル: | Regulation of Pattern Dimension as a Function of Vacuum Pressure: Alkyl Monolayer Lithography |
著者: | Khatri, Om P. Sano, Hikaru Murase, Kuniaki ![]() ![]() ![]() Sugimura, Hiroyuki ![]() |
発行日: | 2008 |
出版者: | AMER CHEMICAL SOC |
誌名: | LANGMUIR |
巻: | 24 |
号: | 20 |
開始ページ: | 12077 |
終了ページ: | 12084 |
URI: | http://hdl.handle.net/2433/79044 |
DOI(出版社版): | 10.1021/la8021613 |
リンク: | Web of Science |
出現コレクション: | 英文論文データベース |

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