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完全メタデータレコード
| DCフィールド | 値 | 言語 |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Tsuji, H | en |
| dc.contributor.author | Arai, N | en |
| dc.contributor.author | Motono, M | en |
| dc.contributor.author | Gotoh, Y | en |
| dc.contributor.author | Adachi, K | en |
| dc.contributor.author | Kotaki, H | en |
| dc.contributor.author | Ishikawa, J | en |
| dc.date.accessioned | 2007-03-28T03:57:00Z | - |
| dc.date.available | 2007-03-28T03:57:00Z | - |
| dc.date.issued | 2003 | - |
| dc.identifier.issn | 0168-583X | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/2433/7950 | - |
| dc.language.iso | eng | - |
| dc.publisher | ELSEVIER SCIENCE BV | en |
| dc.subject | nanoparticle | en |
| dc.subject | negative ion implantation | en |
| dc.subject | optical reflection | en |
| dc.subject | multi-layer | en |
| dc.subject | monitoring | en |
| dc.title | Study on optical reflection property from multilayer on Si substrate including nanoparticles in SiO2 layer | en |
| dc.type | journal article | - |
| dc.type.niitype | Journal Article | - |
| dc.identifier.jtitle | NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS | en |
| dc.identifier.volume | 206 | - |
| dc.identifier.spage | 615 | - |
| dc.identifier.epage | 619 | - |
| dc.relation.doi | 10.1016/S0168-583X(03)00795-X | - |
| dc.textversion | none | - |
| dcterms.accessRights | metadata only access | - |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース | |
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