光誘起キャリアを用いるシリコン上への湿式法マスクレス金属パターニング

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http://hdl.handle.net/2433/79587

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完全メタデータレコード

DCフィールド	値	言語
dc.contributor.author	尾形, 幸生	ja
dc.contributor.alternative	Ogata, Yukio	en
dc.date.accessioned	2009-07-03T05:31:15Z	-
dc.date.available	2009-07-03T05:31:15Z	-
dc.date.issued	2005-03	-
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/2433/79587	-
dc.description	平成14-16年度科学研究費補助金（基盤研究（B)(2)）研究成果報告書　課題番号：14350383　研究代表者：尾形幸生 (京都大学エネルギー理工学研究所教授）	ja
dc.language.iso	jpn	-
dc.publisher	京都大学	ja
dc.rights	p.9-122は学術雑誌掲載論文の抜き刷り、出版社に著作権許諾が得られていないため未掲載	ja
dc.subject	レーザー	ja
dc.subject	置換めっき	ja
dc.subject	電析	ja
dc.subject	多孔質シリコン	ja
dc.subject	光励起	ja
dc.subject	パターニング	ja
dc.subject	金属パターニング	ja
dc.subject	Photo-excitation	en
dc.subject	Laser	en
dc.subject	Metal patterning	en
dc.subject	Electrodeposition	en
dc.subject	Porous silicon	en
dc.title	光誘起キャリアを用いるシリコン上への湿式法マスクレス金属パターニング	ja
dc.type	research report	-
dc.type.niitype	Research Paper	-
dc.textversion	publisher	-
dc.relation.url	http://kaken.nii.ac.jp/ja/grant/KAKENHI-PROJECT-14350383/	-
dcterms.accessRights	open access	-
datacite.awardNumber	14350383	-
jpcoar.funderName	日本学術振興会	ja
jpcoar.funderName.alternative	Japan Society for the Promotion of Science (JSPS)	en
出現コレクション:	エネルギー理工学研究所

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